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退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响

李建军 于军 李佳 杨卫明 吴云翼 王耘波

退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响

李建军, 于军, 李佳, 杨卫明, 吴云翼, 王耘波
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-17
  • 修回日期:  2008-07-20
  • 刊出日期:  2009-02-20

退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系,武汉 430074
    基金项目: 

    国家自然科学基金重大研究计划(批准号:90407023)资助的课题.

摘要: 采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)铁电薄膜,研究了在750 ℃时不同退火气压(pO2:10-4—3 atm)对薄膜微观结构和电学性能的影响.XRD和拉曼光谱结果表明在10-4和3 atm氧气压下退火

English Abstract

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