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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

薛伟 解国新 王权 张淼 郑蓓蓉

几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

薛伟, 解国新, 王权, 张淼, 郑蓓蓉
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-05-14
  • 修回日期:  2008-06-05
  • 刊出日期:  2009-02-05

几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

  • 1. (1)清华大学摩擦学国家重点实验室,北京 100084; (2)温州大学机电工程学院,温州 323035; (3)中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 200050
    基金项目: 

    浙江省自然科学基金(批准号:Y107746)资助的课题.

摘要: 对微机电系统(MEMS)中几种常用构件材料的表面能及其主要影响因素进行了探讨,并与材料表面的纳观黏附性能进行了分析比较.用Owens二液法计算出硅基材料的表面能在60—75 mJ/m2之间,它们之间总表面能的差异主要归结为表面能极性分量的差异,表面粗糙度的存在使表观表面能有所偏高.施加自组装分子膜后的表面能大为降低,粗糙度的存在可以使其表面能进一步减小.纳观黏附力和表面能之间有一定的对应关系.另外,在研究中发现表面粗糙度对纳观黏附行为的影响较小.

English Abstract

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