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纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

陈城钊 李平 林璇英 刘翠青 邱胜桦 吴燕丹 余楚迎

纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

陈城钊, 李平, 林璇英, 刘翠青, 邱胜桦, 吴燕丹, 余楚迎
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-16
  • 修回日期:  2008-09-24
  • 刊出日期:  2009-04-20

纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

  • 1. (1)韩山师范学院物理与电子工程系,潮州 521041;汕头大学物理系,汕头 515063; (2)汕头大学物理系,汕头 515063
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000028208)和韩山师范学院青年科研基金(批准号:0503)资助的课题.

摘要: 采用传统射频等离子体化学气相沉积技术在100—350℃的衬底温度下高速沉积氢化硅薄膜. 傅里叶变换红外光谱和Raman谱的研究表明,纳米晶硅薄膜中的氢含量和硅氢键合模式与薄膜的晶化特性有密切关系,当薄膜从非晶相向晶相转变时,氢的含量减少了一半以上,硅氢键合模式以SiH2为主. 随着衬底温度的升高和晶化率的增加,纳米晶硅薄膜中氢的含量以及其结构因子逐渐减少.

English Abstract

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