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氟化物材料在深紫外波段的光学常数

薛春荣 易葵 齐红基 邵建达 范正修

氟化物材料在深紫外波段的光学常数

薛春荣, 易葵, 齐红基, 邵建达, 范正修
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-05-27
  • 修回日期:  2008-12-08
  • 刊出日期:  2009-07-20

氟化物材料在深紫外波段的光学常数

  • 1. (1)常熟理工学院江苏新型功能材料实验室,常熟 215500;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥 230029; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60678004)资助的课题.

摘要: 研究了紫外领域常用的6种大带隙的氟化物薄膜材料,在氟化镁单晶基底上用热舟蒸发镀制了三种高折射率材料薄膜LaF3,NdF3,GdF3和三种低折射率材料薄膜MgF2,AlF3,Na3AlF6;用商用lambda900光谱仪测量了它们在190—500 nm范围的透射率光谱曲线;用包络法研究了它们的折射率和消光系数,研究了影响透射率和光学常数的主要因素,给出了6

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