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半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

李巍 李斌成

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半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

李巍, 李斌成

Modulated free carrier absorption characterization of semiconductor wafers by frequency scans at different pump-to-probe separations

Li Wei, Li Bin-Cheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-12-01
  • 修回日期:  2009-01-07
  • 刊出日期:  2009-09-20

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