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半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

李斌成 李巍

半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

李斌成, 李巍
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-12-01
  • 修回日期:  2009-01-07
  • 刊出日期:  2009-09-20

半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

  • 1. (1)中国科学院光束控制重点实验室,中国科学院光电技术研究所,成都 610209; (2)中国科学院光束控制重点实验室,中国科学院光电技术研究所,成都 610209;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60676058),四川省青年科学家科技基金资助课题.

摘要: 根据调制自由载流子吸收(modulated free carrier absorption,MFCA)检测技术的三维理论模型,采用变间距频率扫描方式测量单晶硅样品的电子输运参数,进行了仿真与实验,对结果进行了分析;通过多参数拟合,获取了测试样品的载流子扩散系数、少数载流子寿命和前表面复合速度.仿真与实验都表明,变间距频率扫描结合多参数拟合,可以提高输运参数的测量精度.

English Abstract

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