搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

采用Si薄膜的光子计数成像系统性能的研究

刘永安 赵宝升 赵菲菲 胡慧君

采用Si薄膜的光子计数成像系统性能的研究

刘永安, 赵宝升, 赵菲菲, 胡慧君
PDF
导出引用
  • 在陶瓷基底上利用电子束蒸镀方法制备了Si薄膜,用作感应读出方式光子计数成像系统的电荷感应层,并研究了薄膜的结构特征和表面形态.X射线衍射(XRD)测试和场发射扫描电子显微镜(FESEM)图像表明,沉积的Si薄膜为无定形态,由于陶瓷晶界的存在,薄膜较粗糙.搭建了相应的实验系统,对比了采用不同厚度Si薄膜时系统的空间分辨率、计数率、脉冲高度分布曲线等,发现薄膜的厚度对探测器的计数率影响较大.此外,实验还对比了采用相同电阻值的Si薄膜和常用的Ge薄膜时系统的性能.研究表明,采用Si薄膜时系统的畸变较小、计数率高
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10878005)资助的课题.
    [1]

    Jagutzki O, Lapington J S, Worth L B C, Spillmann U, Mergel V, Schmidt-Bcking H 2002 Nucl. Instrum. Meth. A 477 256

    [2]

    Barnstedt J, Grewing M 2002 Nucl. Instrum. Meth. A 477 268

    [3]

    Lapington J S, Chakrabarti S , Cook T , Gsell J C, Gsell V T 2003 Nucl. Instrum. Meth. A 513 159

    [4]

    Maia J M, Mrmann D, Breskin A, Chechik R, Veloso J F C A, dos Santos J M F 2007 Nucl. Instrum. Meth. A 580 373

    [5]

    Zhang X H, Zhao B S, Zhao F F, Liu Y A, Miao Z H 2009 Rev. Sci. Instrum. 80 033101

    [6]

    Jiao R Z, Feng C X, Ma H Q 2008 Acta Phys. Sin. 57 1352 (in Chinese) [焦荣珍、 冯晨旭、 马海强 2008 物理学报 57 1352]

    [7]

    Zhang X H, Zhao B S, Liu Y A, Miao Z H, Zhu X P, Zhao F F 2009 Acta Phys. Sin. 58 1779 (in Chinese) [张兴华、 赵宝升、 刘永安、 缪震华、 朱香平、 赵菲菲 2008 物理学报 58 1779]

    [8]

    Miao Z H, Zhao B S, Liu Y A, Zhu X P, Zhang X H 2008 Acta Photon. Sin. 37 11 (in Chinese) [缪震华、 赵宝升、 刘永安、 〖9] Zhu X P, Zhao B S, Liu Y A, Miao Z H, Zhang X H, Zou W 2008 Acta Opt. Sin. 28 1925 (in Chinese) [朱香平、 赵宝升、 刘永安、 缪震华、 张兴华、 邹 玮 2008 光学学报 28 1925]

    [9]

    Liu Y A, Zhao B S, Zhu X P, Miao Z H, Zhang X H, Zou W 2009 Acta Photon. Sin. 38 750 (in Chinese) [刘永安、 赵宝升、 朱香平、 缪震华、 张兴华、 邹 玮 2009 光子学报 38 750]

    [10]

    Zhang X H, Zhao B S, Miao Z H, Zhu X P, Liu Y A, Zou W 2008 Acta Phys. Sin. 57 4238 (in Chinese) [张兴华、 赵宝升、 缪震华、 朱香平、 刘永安、 邹 玮 2008 物理学报 57 4238]

    [11]

    Zhao F F, Zhao B S, Zhang X H, Li W, Zou W, Sai X F, Wei Y L 2009 Acta Opt. Sin. 29 3236 (in Chinese) [赵菲菲、 赵宝升、 张兴华、 李 伟、 邹 玮、 赛小锋、 韦永林 2009 光学学报 29 3236]

  • [1]

    Jagutzki O, Lapington J S, Worth L B C, Spillmann U, Mergel V, Schmidt-Bcking H 2002 Nucl. Instrum. Meth. A 477 256

    [2]

    Barnstedt J, Grewing M 2002 Nucl. Instrum. Meth. A 477 268

    [3]

    Lapington J S, Chakrabarti S , Cook T , Gsell J C, Gsell V T 2003 Nucl. Instrum. Meth. A 513 159

    [4]

    Maia J M, Mrmann D, Breskin A, Chechik R, Veloso J F C A, dos Santos J M F 2007 Nucl. Instrum. Meth. A 580 373

    [5]

    Zhang X H, Zhao B S, Zhao F F, Liu Y A, Miao Z H 2009 Rev. Sci. Instrum. 80 033101

    [6]

    Jiao R Z, Feng C X, Ma H Q 2008 Acta Phys. Sin. 57 1352 (in Chinese) [焦荣珍、 冯晨旭、 马海强 2008 物理学报 57 1352]

    [7]

    Zhang X H, Zhao B S, Liu Y A, Miao Z H, Zhu X P, Zhao F F 2009 Acta Phys. Sin. 58 1779 (in Chinese) [张兴华、 赵宝升、 刘永安、 缪震华、 朱香平、 赵菲菲 2008 物理学报 58 1779]

    [8]

    Miao Z H, Zhao B S, Liu Y A, Zhu X P, Zhang X H 2008 Acta Photon. Sin. 37 11 (in Chinese) [缪震华、 赵宝升、 刘永安、 〖9] Zhu X P, Zhao B S, Liu Y A, Miao Z H, Zhang X H, Zou W 2008 Acta Opt. Sin. 28 1925 (in Chinese) [朱香平、 赵宝升、 刘永安、 缪震华、 张兴华、 邹 玮 2008 光学学报 28 1925]

    [9]

    Liu Y A, Zhao B S, Zhu X P, Miao Z H, Zhang X H, Zou W 2009 Acta Photon. Sin. 38 750 (in Chinese) [刘永安、 赵宝升、 朱香平、 缪震华、 张兴华、 邹 玮 2009 光子学报 38 750]

    [10]

    Zhang X H, Zhao B S, Miao Z H, Zhu X P, Liu Y A, Zou W 2008 Acta Phys. Sin. 57 4238 (in Chinese) [张兴华、 赵宝升、 缪震华、 朱香平、 刘永安、 邹 玮 2008 物理学报 57 4238]

    [11]

    Zhao F F, Zhao B S, Zhang X H, Li W, Zou W, Sai X F, Wei Y L 2009 Acta Opt. Sin. 29 3236 (in Chinese) [赵菲菲、 赵宝升、 张兴华、 李 伟、 邹 玮、 赛小锋、 韦永林 2009 光学学报 29 3236]

  • [1] 刘永安, 鄢秋荣, 盛立志, 赵菲菲, 胡慧君, 赵宝升. 电荷云尺寸对紫外光子计数成像探测器性能的影响. 物理学报, 2011, 60(4): 048501. doi: 10.7498/aps.60.048501
    [2] 赵宝升, 刘永安, 胡慧君, 曹希斌, 赵菲菲. 感应读出方式紫外光子计数成像技术的研究. 物理学报, 2010, 59(9): 6306-6311. doi: 10.7498/aps.59.6306
    [3] 王胜, 李航, 曹超, 吴洋, 霍合勇, 唐彬. 新型热中子敏感微通道板探测效率的蒙特-卡罗模拟研究. 物理学报, 2015, 64(10): 102801. doi: 10.7498/aps.64.102801
    [4] 张蜡宝, 康琳, 陈健, 赵清源, 郏涛, 许伟伟, 曹春海, 金飚兵, 吴培亨. 超导纳米线单光子探测器. 物理学报, 2011, 60(3): 038501. doi: 10.7498/aps.60.038501
    [5] 赵宝升, 杨颢, 刘永安, 朱香平, 鄢秋荣, 李梅. 一维游标位敏阳极光子计数探测器. 物理学报, 2010, 59(9): 6164-6171. doi: 10.7498/aps.59.6164
    [6] 赵宝升, 朱香平, 张兴华, 刘永安, 缪震华, 赵菲菲. 紫外单光子成像系统增益特性研究. 物理学报, 2009, 58(3): 1779-1784. doi: 10.7498/aps.58.1779
    [7] 潘京生, 亓鲁, 肖洪亮, 张蓉, 周建勋, 蒲冬冬, 吕景文. 微通道板的饱和效应对条纹相机动态范围的影响分析. 物理学报, 2012, 61(19): 194211. doi: 10.7498/aps.61.194211
    [8] 侯立飞, 李芳, 袁永腾, 杨国洪, 刘慎业. 化学气相沉积金刚石探测器测量软X射线能谱. 物理学报, 2010, 59(2): 1137-1142. doi: 10.7498/aps.59.1137
    [9] 王光强, 王建国, 童长江, 李小泽, 王雪锋. 高功率太赫兹脉冲半导体探测器的分析与设计. 物理学报, 2011, 60(3): 030702. doi: 10.7498/aps.60.030702
    [10] 胡海帆, 王颖, 陈杰, 赵士斌. 全三维电离粒子有源像素探测器优化仿真. 物理学报, 2014, 63(10): 100702. doi: 10.7498/aps.63.100702
    [11] 史生才, 李婧, 张文, 缪巍. 超高灵敏度太赫兹超导探测器. 物理学报, 2015, 64(22): 228501. doi: 10.7498/aps.64.228501
    [12] 康健彬, 李倩, 李沫. 氮化物子带跃迁探测器材料结构对器件效率的影响. 物理学报, 2019, 68(22): 228501. doi: 10.7498/aps.68.20190722
    [13] 袁铮, 刘慎业, 曹柱荣, 陈韬, 黎航, 张海鹰, 陈铭, 李云峰. 金阴极的选择性光电效应. 物理学报, 2010, 59(7): 4967-4971. doi: 10.7498/aps.59.4967
    [14] 王朋, 赵宝升, 盛立志, 胡慧君, 鄢秋荣. X射线脉冲星导航系统导航精度的研究. 物理学报, 2012, 61(20): 209702. doi: 10.7498/aps.61.209702
    [15] 王 茺, 张鹏翔, 张国勇. 高温超导体和巨磁阻薄膜激光感生热电电压的最佳膜厚研究. 物理学报, 2004, 53(6): 1727-1730. doi: 10.7498/aps.53.1727
    [16] 曹柱荣, 董建军, 杨正华, 詹夏宇, 袁铮, 张海鹰, 江少恩, 丁永坤. 一种透射式软X光带通方法研究. 物理学报, 2013, 62(4): 045205. doi: 10.7498/aps.62.045205
    [17] 邓宁勤, 赵宝升, 盛立志, 鄢秋荣, 杨颢, 刘舵. 基于X射线的空间语音通信系统. 物理学报, 2013, 62(6): 060705. doi: 10.7498/aps.62.060705
    [18] 韩冬, 孙飞阳, 鲁继远, 宋福明, 徐跃. 采用多晶硅场板降低单光子雪崩二极管探测器暗计数. 物理学报, 2020, 69(14): 148501. doi: 10.7498/aps.69.20200523
    [19] 孙志斌, 马海强, 雷 鸣, 杨捍东, 吴令安, 翟光杰, 冯 稷. 近红外单光子探测器. 物理学报, 2007, 56(10): 5790-5795. doi: 10.7498/aps.56.5790
    [20] 胡慧君, 赵宝升, 盛立志, 赛小锋, 鄢秋荣, 陈宝梅, 王朋. 用于脉冲星导航的X射线光子计数探测器研究. 物理学报, 2012, 61(1): 019701. doi: 10.7498/aps.61.019701
  • 引用本文:
    Citation:
计量
  • 文章访问数:  2878
  • PDF下载量:  612
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2009-12-13
  • 修回日期:  2010-01-13
  • 刊出日期:  2010-05-05

采用Si薄膜的光子计数成像系统性能的研究

  • 1. (1)中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119; (2)中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119,中国科学院研究生院,北京 100039
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10878005)资助的课题.

摘要: 在陶瓷基底上利用电子束蒸镀方法制备了Si薄膜,用作感应读出方式光子计数成像系统的电荷感应层,并研究了薄膜的结构特征和表面形态.X射线衍射(XRD)测试和场发射扫描电子显微镜(FESEM)图像表明,沉积的Si薄膜为无定形态,由于陶瓷晶界的存在,薄膜较粗糙.搭建了相应的实验系统,对比了采用不同厚度Si薄膜时系统的空间分辨率、计数率、脉冲高度分布曲线等,发现薄膜的厚度对探测器的计数率影响较大.此外,实验还对比了采用相同电阻值的Si薄膜和常用的Ge薄膜时系统的性能.研究表明,采用Si薄膜时系统的畸变较小、计数率高

English Abstract

参考文献 (11)

目录

    /

    返回文章
    返回