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光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控

刘安金 邢名欣 渠红伟 陈微 周文君 郑婉华

光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控

刘安金, 邢名欣, 渠红伟, 陈微, 周文君, 郑婉华
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-04-18
  • 修回日期:  2009-05-22
  • 刊出日期:  2010-01-05

光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控

  • 1. 中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室,北京 100083
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划特别基金(批准号:2006CB921700)、国家自然科学基金(批准号:10634080,60677046,60838003)和国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z403)资助的课题.

摘要: 研究了光子晶体波导对垂直腔面发射激光器(VCSEL)光束远场形貌的调控. 采用三层对称平板波导模型分析了影响光子晶体VCSEL(PC-VCSEL)远场发散角的参数.研究表明,PC-VCSEL中光子晶体的填充比(空气孔直径和光子晶体周期的比值)以及空气孔的刻蚀深度控制了光束的发散角,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL有利于获得低发散角的光束. 设计并制作了两种不同结构参数的PC-VCSEL,这两种器件中光子晶体的填充比和空气孔的刻蚀深度不同. 实验结果表明,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL的发散角更低,与理论分析符合得很好.

English Abstract

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