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用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究

张军 梁中翥 梁静秋 朱万彬 王维彪 裴舒 王波 孔延梅 付建国 郑莹 吕金光

用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究

张军, 梁中翥, 梁静秋, 朱万彬, 王维彪, 裴舒, 王波, 孔延梅, 付建国, 郑莹, 吕金光
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-05-06
  • 修回日期:  2009-06-23
  • 刊出日期:  2010-01-05

用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究

  • 1. (1)暨南大学光电工程系,广州 510632; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春 130033; (3)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春 130033;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2009AA04Z315)和国家自然科学基金(批准号:60977062)资助的课题.

摘要: 提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10 nm.

English Abstract

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