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具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

关宝璐 张敬兰 任秀娟 郭帅 李硕 揣东旭 郭霞 沈光地

具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

关宝璐, 张敬兰, 任秀娟, 郭帅, 李硕, 揣东旭, 郭霞, 沈光地
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-04-12
  • 修回日期:  2010-05-05
  • 刊出日期:  2011-03-15

具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

  • 1. 北京工业大学,光电子技术省部共建教育部重点实验室,北京 100124
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB604902),国家自然科学基金(批准号:60908012) 资助的课题.

摘要: 基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0 V增加到7 V时,对应激射波长将从968.8 nm蓝移到950 nm,整个调谐范围达到了18.8

English Abstract

参考文献 (13)

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