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氧分压对Mg掺杂ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

鲍善永 董武军 徐兴 栾田宝 李杰 张庆瑜

氧分压对Mg掺杂ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

鲍善永, 董武军, 徐兴, 栾田宝, 李杰, 张庆瑜
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  • 利用脉冲激光沉积技术,通过改变沉积过程中的氧气压力,在蓝宝石(0001)基片上制备了一系列ZnMgO合金.通过X射线衍射、反射和透射光谱以及室温和变温荧光光谱,对薄膜的结构和光学性能进行了系统地表征,分析了工作气压对ZnMgO合金薄膜的结晶质量及光学特性的影响.研究结果表明:随着沉积环境中氧气压力的增大,ZnMgO薄膜的结晶质量下降,富氧环境下,与蓝宝石晶格平行的ZnO晶粒的出现是导致薄膜结晶质量下降的主要原因;相对于本征ZnO,不同氧气环境下沉积的ZnMgO薄膜的紫外荧光峰均出现了不同程度的蓝移.随着工
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10774018)和国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB616902)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-26
  • 修回日期:  2010-06-21
  • 刊出日期:  2011-03-15

氧分压对Mg掺杂ZnO薄膜结晶质量和光学特性的影响

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10774018)和国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB616902)资助的课题.

摘要: 利用脉冲激光沉积技术,通过改变沉积过程中的氧气压力,在蓝宝石(0001)基片上制备了一系列ZnMgO合金.通过X射线衍射、反射和透射光谱以及室温和变温荧光光谱,对薄膜的结构和光学性能进行了系统地表征,分析了工作气压对ZnMgO合金薄膜的结晶质量及光学特性的影响.研究结果表明:随着沉积环境中氧气压力的增大,ZnMgO薄膜的结晶质量下降,富氧环境下,与蓝宝石晶格平行的ZnO晶粒的出现是导致薄膜结晶质量下降的主要原因;相对于本征ZnO,不同氧气环境下沉积的ZnMgO薄膜的紫外荧光峰均出现了不同程度的蓝移.随着工

English Abstract

参考文献 (21)

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