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磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究

曹月华 狄国庆

磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究

曹月华, 狄国庆
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  • 室温下采用射频磁控溅射法,在硅衬底上制备了Y2O3-TiO2氧化物复合薄膜.利用XRD(X-ray diffraction)和AFM( atomic force microscopy)分析观察了退火前后样品的物相、形貌等变化,讨论了致密薄膜的生长机理.实验发现,溅射功率越大,薄膜的平整度和致密度越好.对热处理前后样品的结晶结构和表面形貌的分析结果显示,在本实验参数范围内,随着溅射功率的增大,更多的Y2O3
    • 基金项目: 江苏省高校自然科学重大基础研究项目(批准号:05KJA43006)资助的课题.
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    [16] 刘文姝, 高润亮, 冯红梅, 刘悦悦, 黄怡, 王建波, 刘青芳. 真空磁场热处理温度对不同厚度的Ni88Cu12薄膜畴结构及磁性的影响. 物理学报, 2020, (): . doi: 10.7498/aps.69.20191942
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-03
  • 修回日期:  2010-06-11
  • 刊出日期:  2011-03-15

磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究

  • 1. 薄膜材料江苏省重点实验室,苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006
    基金项目: 

    江苏省高校自然科学重大基础研究项目(批准号:05KJA43006)资助的课题.

摘要: 室温下采用射频磁控溅射法,在硅衬底上制备了Y2O3-TiO2氧化物复合薄膜.利用XRD(X-ray diffraction)和AFM( atomic force microscopy)分析观察了退火前后样品的物相、形貌等变化,讨论了致密薄膜的生长机理.实验发现,溅射功率越大,薄膜的平整度和致密度越好.对热处理前后样品的结晶结构和表面形貌的分析结果显示,在本实验参数范围内,随着溅射功率的增大,更多的Y2O3

English Abstract

参考文献 (26)

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