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Al高掺杂浓度对ZnO导电性能影响的第一性原理研究

侯清玉 赵春旺 李继军 王钢

Al高掺杂浓度对ZnO导电性能影响的第一性原理研究

侯清玉, 赵春旺, 李继军, 王钢
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  • 采用密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,在同等环境条件下,建立了未掺杂和三种不同浓度的Al原子取代Zn原子的Zn1-xAlxO模型,然后分别对模型进行了几何结构优化、总态密度分布和能带分布的计算.结果表明:ZnO高掺杂Al的条件下,随掺杂Al原子浓度增大,进入导带的电子增多,电子迁移率减小,电导率减小,导电性能减弱;但是随高掺杂Al的浓度减小,反而使电子迁移率增大,电导率增大,导电性能增强.计算得到的结果与实验中Al原子
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11062008),内蒙古自治区高等学校科学技术研究项目(批准号:NJ10073)内蒙古工业大学科学研究计划(批准号:ZD200916),内蒙古自然科学基金(批准号:2010MS0801)资助的课题.
    [1]

    Bae S Y, Na C W, Kang J H, Park J 2005 J. Phys. Chem. B 109 2526

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    Huang Y H, Zhang Y, Gu Y S, Bai X D, Qi J J, Liao Q L, Liu J 2007 J. Phys. Chem. C 111 9039

    [5]

    Li C, Furuta M, Matsuda T, Hiramatsu T, Furuta H, Hirao T 2009 Thin Solid Films 517 3265

    [6]

    Yamamoto T 2002 Thin Solid Films 420-421 100

    [7]

    Huang X H, Li G H, Duan L, Li L, Dou X C, Zhang L D 2009 Scripta Materialia 60 984

    [8]

    Wang X, Hu P, Li Y F, Yu L J 2007 J. Phys. Chem. C 111 6706

    [9]

    Shan F K, Yu Y S 2003 Thin Solid Films 435 174

    [10]

    Kim Y, Kang S 2009 Materials Letters 63 1065

    [11]

    Lu J G, Fujita S 2007 Journal of Applied Physics 101 083705

    [12]

    Kim H, Gilmore C M, Horwitz J S, Piqué A, Murata H, Kushto G P, Schlaf R, Kafafi Z H, Chrisey D B 2000 Appl. Phys. Lett. 76 259

    [13]

    Park K C, Ma D Y, Kim K H 1997 Thin Solid Films 305 201

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    Zhang F C, Deng Z H, Yan J F, Yun J N 2005 Electronic Components & Materlals 24 4 (in Chinese) [张富春、邓周虎、阎军锋、允江妮、张志勇 2005 电子元件与材料 24 4]

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    Payne M C, Teter M P, Allan D C, Arias T A, Joannopoulos J D 1992 Rev. Mod. Phys. 64 1045

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    Sorescu M, Diamandescu L, Tarabsanu-Mihaila D, Teodorescu V S 2004 J. Mat. Sci. 39 675

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    Zhao H F, Cao Q X, Li J T 2008 Acta Phys. Sin. 57 5828 (in Chinese) [赵慧芳、曹全喜、李建涛 2008 物理学报 57 5828]

    [19]

    Liu E K, Zhu B S, Luo J S 1998 Semiconductor Physics (Xi'an: Xi an Jiao tong University Press) p98, 123 (in Chinese) [刘恩科、朱秉升、罗晋生 1998 半导体物理(西安:西安交通大学出版社)第98,123页]

    [20]

    Nunes P, Fortunato E, Tonello P, Fernandes F B, Vilarinho P, Martins R 2002 Vacuum 64 281

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    Lee K E, Wang M S, Kim E J, Hahn S H 2009 Current Applied Physics 9 683

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    [9] 赵建宁, 刘冬欢, 魏东, 尚新春. 考虑界面接触热阻的一维复合结构的热整流机理. 物理学报, 2020, 69(5): 056501. doi: 10.7498/aps.69.20191409
    [10] 刘厚通, 毛敏娟. 一种无需定标的地基激光雷达气溶胶消光系数精确反演方法. 物理学报, 2019, 68(7): 074205. doi: 10.7498/aps.68.20181825
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-04-27
  • 修回日期:  2010-07-16
  • 刊出日期:  2011-04-15

Al高掺杂浓度对ZnO导电性能影响的第一性原理研究

  • 1. 内蒙古工业大学理学院物理系,呼和浩特 010051
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11062008),内蒙古自治区高等学校科学技术研究项目(批准号:NJ10073)内蒙古工业大学科学研究计划(批准号:ZD200916),内蒙古自然科学基金(批准号:2010MS0801)资助的课题.

摘要: 采用密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,在同等环境条件下,建立了未掺杂和三种不同浓度的Al原子取代Zn原子的Zn1-xAlxO模型,然后分别对模型进行了几何结构优化、总态密度分布和能带分布的计算.结果表明:ZnO高掺杂Al的条件下,随掺杂Al原子浓度增大,进入导带的电子增多,电子迁移率减小,电导率减小,导电性能减弱;但是随高掺杂Al的浓度减小,反而使电子迁移率增大,电导率增大,导电性能增强.计算得到的结果与实验中Al原子

English Abstract

参考文献 (21)

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