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基于光子晶体分光的气敏传感器研究

孔延梅 高超群 景玉鹏 陈大鹏

基于光子晶体分光的气敏传感器研究

孔延梅, 高超群, 景玉鹏, 陈大鹏
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-07-08
  • 修回日期:  2010-08-17
  • 刊出日期:  2011-05-15

基于光子晶体分光的气敏传感器研究

  • 1. 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心,微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029

摘要: 本文利用微机电系统技术实现气敏传感器的主要思想,设计了基于超棱镜效应的光子晶体分光系统,它能够实现高精度的分光,使得光谱仪的分辨率有很大程度的提高,并且为应用于许多光学系统的新型分光元件的研究提供新的思路和基础.

English Abstract

参考文献 (18)

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