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离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性

李元恒

离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性

李元恒
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  • 本文用红外探测器测量了注磷Si在高功率连续CO2激光辐照下反射率随时间的变化,发现在激光加热和随后冷却的过程中均出现不可逆的反射率跃升现象,这说明Si的表面载流子浓度也有着类似的变化。
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出版历程
  • 收稿日期:  1980-09-06
  • 刊出日期:  1981-02-05

离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性

  • 1. 中国科学院力学研究所

摘要: 本文用红外探测器测量了注磷Si在高功率连续CO2激光辐照下反射率随时间的变化,发现在激光加热和随后冷却的过程中均出现不可逆的反射率跃升现象,这说明Si的表面载流子浓度也有着类似的变化。

English Abstract

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