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金属与GaAs接触界面的分析

徐鸿达 邵全远 肖楠

金属与GaAs接触界面的分析

徐鸿达, 邵全远, 肖楠
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-02-02
  • 刊出日期:  2005-07-27

金属与GaAs接触界面的分析

  • 1. (1)中国科学院半导体研究所; (2)中国科学院物理研究所

摘要: 本文应用二次离子质量分析仪、X射线衍射,电子探针、扫描电子显微镜对Pt.Mo,Ti,Al与GaAs之间的界面(经过不同温度的热处理)进行冶金学性能和相应的电学性质分析,并对结果进行了讨论。由此提出了作为优良GaAs肖特基结的金属,应具有的物理特性以及结的制作原则。

English Abstract

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