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复合的电子束扫描系统象差的动态校正

西门纪业 李钰

复合的电子束扫描系统象差的动态校正

西门纪业, 李钰
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出版历程
  • 收稿日期:  1982-01-20
  • 刊出日期:  2005-07-27

复合的电子束扫描系统象差的动态校正

  • 1. (1)北京大学无线电电子学系; (2)上海机械学院

摘要: 本文在文献[1]的基础上讨论了复合的电子束扫描系统象差的动态校正问题。讨论了采用不同的电磁多极场作为动态校正器的可能性。推导了圆形校正透镜、偏转校正场和四极、六极校正场引起的附加象差的公式。由此证明了由这种圆形校正透镜、偏转校正场和四极校正场等组成的动态校正系统在一定条件下可以消除复合的电子束扫描系统中大多数的三级偏转象差。

English Abstract

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