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原子氢、氘钝化以及质子注入掺杂硅的红外吸收

杜永昌 晏懋洵 张玉峰 郭海 胡克良

原子氢、氘钝化以及质子注入掺杂硅的红外吸收

杜永昌, 晏懋洵, 张玉峰, 郭海, 胡克良
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-12-15
  • 刊出日期:  2005-03-18

原子氢、氘钝化以及质子注入掺杂硅的红外吸收

  • 1. (1)北京大学物理系; (2)中国科学技术大学结构分析中心

摘要: 用FTIR研究了原子氢、原子氘钝化掺硼硅以及质子注入掺杂单晶硅,当原子氘钝化条件不同时分别产生了1360cm-1和1263cm-1的[BD]对局域振动模红外吸收带,这表明氘在单晶硅的硼受主邻近有两种可能的状态。质子注入掺杂硅的红外吸收光谱与不掺杂硅的明显不同,氢原子优先结合于硼的附近,注入氢仅约1%生成光效的缺陷,而绝大部份生成无光效的中心,它们可能是氢分子。

English Abstract

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