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高完整GexSi1-x/Si应变超晶格的X射线双晶衍射研究

周国良 田亮光 朱南昌 陈京一 李润身 许顺生

高完整GexSi1-x/Si应变超晶格的X射线双晶衍射研究

周国良, 田亮光, 朱南昌, 陈京一, 李润身, 许顺生
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-05-28
  • 刊出日期:  2005-07-01

高完整GexSi1-x/Si应变超晶格的X射线双晶衍射研究

  • 1. (1)复旦大学表面物理实验室,上海,200433; (2)中国科学院上海冶金研究所,上海,200050
    基金项目: 

    中国科学院上海冶金研究所青年科学基金

摘要: 本文用X射线双晶衍射技术对分子束外延生长的GexSi1-x/Si应变超晶格的结构参数进行研究,分别采用X射线运动学理论和动力学理论对超晶格的双晶摆动曲线进行计算模拟,得出超晶格的全部结构参数;并对这两种理论计算模拟的结果进行比较,发现这两种理论计算的结果基本一致,只是在细微结构上略有差别,对高完整GexSi1-x/Si超晶格,用动力学理论计算的曲线更接近于实验曲线。

English Abstract

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