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直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究

陈超 冀勇 郜小勇 赵孟珂 马姣民 张增院 卢景霄

直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究

陈超, 冀勇, 郜小勇, 赵孟珂, 马姣民, 张增院, 卢景霄
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-04-26
  • 修回日期:  2011-06-01
  • 刊出日期:  2012-03-15

直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究

  • 1. 郑州大学物理工程学院, 郑州 450052
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 60807001)、河南省教育厅自然科学研究计划项目(批准号: 2010A140017)和郑州大学研究生创新基金项目(批准号: 11L1902)资助的课题.

摘要: 文章采用直流脉冲磁控反应溅射(DCPsputtering)技术,在不同氧氩比(GFR)条件下玻璃衬底上制备了一系列掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计从宏观应力和微观晶格畸变的角度研究了GFR对薄膜结构、表面形貌和光学特性的影响.制备的多晶AZO薄膜呈现了明显的ZnO-(103)择优取向,这归结于3小时薄膜沉积过程中伴随的退火引起的薄膜晶面能转变.随着GFR的增大,AZO薄膜内宏观拉应力先增大到最大值,随后宏观压应力随着GFR的继续增大而增大.薄膜中的宏观应力明显随着GFR从拉应力向压应力转变.这与晶格微观畸变诱导的微观应力的研究结果趋势恰恰相反.随着GFR的增加,薄膜在可见光区的平均透射率先增加后减小,薄膜晶粒尺寸诱导的晶界散射是影响薄膜透射率的主导机制.

English Abstract

参考文献 (20)

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