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AlGaAs/GaAs波导薄膜X射线双晶衍射研究

麦振洪 崔树范 王超英 吴兰生

AlGaAs/GaAs波导薄膜X射线双晶衍射研究

麦振洪, 崔树范, 王超英, 吴兰生
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-09-19
  • 刊出日期:  1991-03-05

AlGaAs/GaAs波导薄膜X射线双晶衍射研究

  • 1. 中国科学院物理研究所,北京,100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 本文应用X射线双晶衍射研究AlGaAs/GaAs波导结构薄膜。结合实验结果,应用X射线衍射动力学理论。计算衬底和多层膜的反射强度,得到样品的真实结构。分析影响薄膜双晶衍射摇摆曲线的若干因素。

English Abstract

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