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随机稀释基底上刻蚀模型动力学标度行为的数值模拟研究

谢裕颖 唐刚 寻之朋 韩奎 夏辉 郝大鹏 张永伟 李炎

随机稀释基底上刻蚀模型动力学标度行为的数值模拟研究

谢裕颖, 唐刚, 寻之朋, 韩奎, 夏辉, 郝大鹏, 张永伟, 李炎
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-10-17
  • 修回日期:  2012-04-05
  • 刊出日期:  2012-04-05

随机稀释基底上刻蚀模型动力学标度行为的数值模拟研究

  • 1. 中国矿业大学理学院物理系, 徐州 221116
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10674177),中国矿业大学理科专项基金(批准号: 2010LKWL01)和中国矿业大学科研人才基金 (批准号: 2011RC22)资助的课题.

摘要: 表面界面动力学粗化过程是凝聚态物理领域重要的研究内容,为研究基底不完整性对刻蚀模型动力学标度行为的影响,本文采用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,分析研究了在随机稀释基底上刻蚀模型(Etching model)生长表面的动力学标度行为.研究发现:尽管随机稀释基底的不完整性会对刻蚀表面的动力学行为产生显著的影响,导致刻蚀表面粗糙度指数和生长指数有明显的增加, 但其仍基本满足原有的动力学标度规律.此外,本文还对刻蚀表面动力学标度指数的有限尺寸效应进行了分析讨论.

English Abstract

参考文献 (27)

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