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中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管辐照感生缺

席善斌 陆妩 王志宽 任迪远 周东 文林 孙静

中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管辐照感生缺

席善斌, 陆妩, 王志宽, 任迪远, 周东, 文林, 孙静
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  • 设计并制作了一种新型双极测试结构,即在常规横向pnp双极晶体管基区表面氧化层上淀积一栅电极,通过扫描栅极所加电压,获得漏极(集电极)电流随栅极电压的变化特性,利用中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管在辐照过程中感生的氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷.本文对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍.
      通信作者: , luwu@ms.xjb.ac.cn
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 10975182)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-05-31
  • 修回日期:  2012-04-05
  • 刊出日期:  2012-04-05

中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管辐照感生缺

  • 1. 中国科学院新疆理化技术研究所, 乌鲁木齐 830011;
  • 2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室, 乌鲁木齐 830011;
  • 3. 中国科学院研究生院, 北京 100049;
  • 4. 模拟集成电路国家重点实验室, 重庆 400060
  • 通信作者: , luwu@ms.xjb.ac.cn
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10975182)资助的课题.

摘要: 设计并制作了一种新型双极测试结构,即在常规横向pnp双极晶体管基区表面氧化层上淀积一栅电极,通过扫描栅极所加电压,获得漏极(集电极)电流随栅极电压的变化特性,利用中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管在辐照过程中感生的氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷.本文对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍.

English Abstract

参考文献 (20)

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