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制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

温昌礼 季家镕 窦文华 冯向华 徐蓉 门涛 刘长海

制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

温昌礼, 季家镕, 窦文华, 冯向华, 徐蓉, 门涛, 刘长海
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-06-20
  • 修回日期:  2012-05-10
  • 刊出日期:  2012-05-05

制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

  • 1. 宇航动力学国家重点实验室, 西安 710043;
  • 2. 国防科学技术大学光电科学与工程学院, 长沙 410073
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号: 2007AA01Z2a5)资助的课题.

摘要: 本文利用浇铸法,使用MN胶和OE6450两种聚硅氧烷制备光波导.通过改进制备光波导的多个关键技术, 解决了波导制备过程中的气泡问题、脱模问题、芯层不固化问题、芯层和覆盖层产生化学反应等难题,提出了 比较完备和科学的聚硅氧烷波导制备工艺流程,从而使得波导的制备成品率从原来低于40%提高到高于80%, 波导的最大长度从原来的21 cm增加到22.5 cm,波导的损耗(截断法测量结果)从最初的0.3dB/cm(850 nm)降低到了 0.21dB/cm(850nm).本文在波导制备技术方面具有重要的实际意义和价值.

English Abstract

参考文献 (5)

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