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α-C:H薄膜及其在硅太阳电池上作增透膜的研究

夏义本 安其霖 居建华 史伟民 王鸿

α-C:H薄膜及其在硅太阳电池上作增透膜的研究

夏义本, 安其霖, 居建华, 史伟民, 王鸿
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-01-31
  • 刊出日期:  2005-07-10

α-C:H薄膜及其在硅太阳电池上作增透膜的研究

  • 1. 上海科学技术大学材料科学系,上海201800

摘要: 采用高频等离子体汽相淀积法在不同材料衬底上淀积出α-C:H薄膜。Raman谱分析表明,该薄膜既具有类金刚石相,又具有金刚石相。测量了该薄膜可见光范围的透射率和折射率。本文提出把该薄膜涂覆在硅太阳电池上作光学增透膜,使其在0.55—1.0μm波长范围内光谱响应明显提高,并使该电池短路电流增加率达38%。

English Abstract

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