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金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

何亮 杜磊 黄晓君 陈华 陈文豪 孙鹏 韩亮

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

何亮, 杜磊, 黄晓君, 陈华, 陈文豪, 孙鹏, 韩亮
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  • 根据电子散射理论,多晶互连中,电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用. 通过引入自由体积的概念,模拟了晶界处电子的散射过程,建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型. 该模型表明,电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主,随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向 非高斯性的突变,表明噪声产生机制发生了转变,并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征. 最终,通过实验初步证明了理论结果的正确性.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 61106062)和中央高校基本科研业务费(批准号: K50511050007)资助的课题.
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    Huang J 1988 Physics of Amorphous Solids (Beijing: Peking University Publishing House) (in Chinese) [黄均 1988 非晶态固体物理学(北京:北京大学出版社)]

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    Sheng Z, Xie S Q, Pan C Y 1989 Probability Theory and Mathematical Statistics (Beijing: China Higher Education Press) (in Chinese) [盛骤, 谢式千, 潘承毅 1989 概率论与数理统计(北京:高等教育出版社)]

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    Doron K, Hagit M 1990 IEEE Trans. Acoust. Speech Signal Proc. 38 901

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    Doan J C, Bravman J C, Flinn P A, Marieb T N 1998 Mater. Res. Soc. Sym. Proc. 516 83

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    Doan J C, Bravman J C, Flinn P A, Marieb T N 1998 Mater. Res. Soc. Sym. Proc. 516 83

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-01
  • 修回日期:  2012-04-22
  • 刊出日期:  2012-10-05

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院, 西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 61106062)和中央高校基本科研业务费(批准号: K50511050007)资助的课题.

摘要: 根据电子散射理论,多晶互连中,电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用. 通过引入自由体积的概念,模拟了晶界处电子的散射过程,建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型. 该模型表明,电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主,随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向 非高斯性的突变,表明噪声产生机制发生了转变,并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征. 最终,通过实验初步证明了理论结果的正确性.

English Abstract

参考文献 (15)

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