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脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜的结构与光学性质研究

张锐 张代贤 张帆 何振 吴建军

脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜的结构与光学性质研究

张锐, 张代贤, 张帆, 何振, 吴建军
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  • 为了研究脉冲等离子体推力器羽流污染特性, 把握脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜性质, 利用质谱仪对推力器羽流残余气体成分进行了分析, 利用红外傅里叶光谱、光电子能谱及紫外可见光分光光度计对推力器羽流区阴极侧不同方位角处 沉积薄膜的结构及光学性质进行了诊断. 研究结果表明, 推力器羽流中主要存在C, F, CF, CF2和CF3气体分子; 在各方位角处脉冲等离子体推力器羽流沉积生成了低氟碳比碳氟薄膜; 沉积薄膜微观结构以30°角为界在羽流不同区域中具有不同的变化趋势; 羽流沉积薄膜具有对波长小于500 nm的光低透射率及增强反射率的光学特性, 受薄膜性质的影响, 其光学特性具有极大的角度依赖性.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 11172327)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-06-15
  • 修回日期:  2012-08-23
  • 刊出日期:  2013-01-05

脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜的结构与光学性质研究

  • 1. 国防科学技术大学航天科学与工程学院, 长沙 410073
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 11172327)资助的课题.

摘要: 为了研究脉冲等离子体推力器羽流污染特性, 把握脉冲等离子体推力器羽流沉积薄膜性质, 利用质谱仪对推力器羽流残余气体成分进行了分析, 利用红外傅里叶光谱、光电子能谱及紫外可见光分光光度计对推力器羽流区阴极侧不同方位角处 沉积薄膜的结构及光学性质进行了诊断. 研究结果表明, 推力器羽流中主要存在C, F, CF, CF2和CF3气体分子; 在各方位角处脉冲等离子体推力器羽流沉积生成了低氟碳比碳氟薄膜; 沉积薄膜微观结构以30°角为界在羽流不同区域中具有不同的变化趋势; 羽流沉积薄膜具有对波长小于500 nm的光低透射率及增强反射率的光学特性, 受薄膜性质的影响, 其光学特性具有极大的角度依赖性.

English Abstract

参考文献 (22)

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