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离子溅射的微区叠加原理

王震遐

离子溅射的微区叠加原理

王震遐
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-09-07
  • 修回日期:  1993-04-20
  • 刊出日期:  1994-01-20

离子溅射的微区叠加原理

  • 1. 中国科学院上海原子核研究所
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的项目.

摘要: 荷能离子轰击固体表面在往使表面产生特定的结构,因而改变溅射总产额和微分产额。这些变化是由于表面结构改变而引起的几种效应,例如弹离子入射角、形貌对发射粒子的屏蔽以及合金表面元素按微区局域富集等的影响而产生的,本文发展了一种考虑上述诸效应的理论方法,并详细讨论该方法在元素(Cd)和合金(AlxSn100-x)靶实验微分产额方面的应用。

English Abstract

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