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三元合金Cu76Ni15Sn9的离子溅射研究

张慧明 曾跃武 赵烈 王传珊 李欣年 周树鑫 罗文芸 王震遐 潘冀生 章骥平

三元合金Cu76Ni15Sn9的离子溅射研究

张慧明, 曾跃武, 赵烈, 王传珊, 李欣年, 周树鑫, 罗文芸, 王震遐, 潘冀生, 章骥平
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-12-06
  • 刊出日期:  1994-12-20

三元合金Cu76Ni15Sn9的离子溅射研究

  • 1. (1)杭州大学中心实验室; (2)上海科学技术大学射线应用研究所; (3)中国科学院上海原子核研究所

摘要: 在27keV Ar+离子轰击时,用收集膜技术结合俄歇谱仪(AES),研究了三元合金Cu76Ni15Sn9系统的择优溅射行为。同时使用扫描电子显微镜(SEM)与电子探针微分析(EPMA).观察了靶点表面形貌变化并测定了形貌特征微区的合金组份原子的相对百分浓度。结果表明,Cu原子较Ni原子、Ni原子较Sn原子,在所测定范围(0─60°)内择优发射。最后讨论了靶点表面形貌特征和“元素局域富集”现象对择优溅射过程的影响。

English Abstract

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