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界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响

王飞 刘望 邓爱红 朱敬军 安竹 汪渊

界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响

王飞, 刘望, 邓爱红, 朱敬军, 安竹, 汪渊
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  • 采用射频磁控溅射方法, 在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜. 利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜, 分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析. 结果表明, 调制周期为30 nm的ZrN/TaN多层膜在600℃退火后, 氦的保持率仍能达到45.6%. 在适当的调制周期下, ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:51171124,11275132);四川省科技支撑计划基金(批准号:07FG001-017)和教育部新世纪人才基金(批准号:NCET-08-0380)资助的课题.
    [1]

    Samaras M 2009 Mater. Today 12 46

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    Wang H, Araujo R, Swadener J G, Wang Y Q, Zhang X, Fu E G, Cagin T 2007 Nucl. Instrum. Meth. B 261 1162

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    Li N, Nastasi M, Misra A 2012 Inter. J. Plas. 32-33 1

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    Kim I 2011 Ph. D. Dissertation (Texas: Texas A&M University)

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    Wang K, Deng A H, Liu L, Li Y, Zhou Y L, Hou Q, Zhou B, Wang S L 2012 Acta Phys. Sin. 61 226802 (in Chinese) [王康, 邓爱红, 刘莉, 李悦, 周宇璐, 侯氢, 周冰, 王珊玲2012 物理学报 61 226802]

  • [1]

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    [5]

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    [16] 刘思冕, 韩卫忠. 金属材料界面与辐照缺陷的交互作用机理. 物理学报, 2019, 68(13): 137901. doi: 10.7498/aps.68.20190128
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    [18] 刘伯飞, 白立沙, 张德坤, 魏长春, 孙建, 侯国付, 赵颖, 张晓丹. 非晶硅界面缓冲层对非晶硅锗电池性能的影响. 物理学报, 2013, 62(24): 248801. doi: 10.7498/aps.62.248801
    [19] 陈盘训, 牟维兵. 用蒙特卡罗法计算X射线在重金属界面的剂量增强系数. 物理学报, 2001, 50(2): 189-192. doi: 10.7498/aps.50.189
    [20] 卜文斌, 范勇, 殷景华, 刘晓旭, 程伟东, 吴忠华. 利用小角X射线散射技术研究组分对聚酰亚胺/Al2O3杂化薄膜界面特性与分形特征的影响. 物理学报, 2011, 60(5): 056101. doi: 10.7498/aps.60.056101
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-04-28
  • 修回日期:  2013-06-03
  • 刊出日期:  2013-09-05

界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响

  • 1. 四川大学原子核科学技术研究所, 教育部辐射物理及技术重点实验室, 成都 610064;
  • 2. 四川大学物理科学与技术学院物理系, 成都 610064
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:51171124,11275132)

    四川省科技支撑计划基金(批准号:07FG001-017)和教育部新世纪人才基金(批准号:NCET-08-0380)资助的课题.

摘要: 采用射频磁控溅射方法, 在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜. 利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜, 分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析. 结果表明, 调制周期为30 nm的ZrN/TaN多层膜在600℃退火后, 氦的保持率仍能达到45.6%. 在适当的调制周期下, ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.

English Abstract

参考文献 (27)

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