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抗反射疏水红外窗口的制备研究

张然 曹小文 徐微微 Haraguchi Masanobu 高炳荣

抗反射疏水红外窗口的制备研究

张然, 曹小文, 徐微微, Haraguchi Masanobu, 高炳荣
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  • 本研究利用纳秒激光两次双光束干涉无掩模烧蚀、快速制备硫化锌(ZnS)微纳结构抗反射疏水表面,使其红外透过率由原来的75%增加到92%,解决了表面淀积抗反射镀层膜层附着力、抗蚀性、热胀失配等问题. 此方法加工过程快速简单,可实现大面积制作,且微纳结构使基底具有疏水性能,疏水角可达145°. 使其在光电子、太阳能、航空航天及红外制导等领域具有广泛的应用前景.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:21003060)资助的课题.
    [1]

    Wang L, Xu B B, Chen Q D, Ma Z C, Zhang R, Liu Q X, Sun H B 2011 Opt. Lett. 36 3305

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-10-14
  • 修回日期:  2013-11-11
  • 刊出日期:  2014-03-05

抗反射疏水红外窗口的制备研究

  • 1. 吉林大学电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室, 长春 130012;
  • 2. 吉林大学机械科学与工程学院, 长春 130022;
  • 3. Department of Optical Science and Technology, University of Tokushima, 7708506, Japan
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:21003060)资助的课题.

摘要: 本研究利用纳秒激光两次双光束干涉无掩模烧蚀、快速制备硫化锌(ZnS)微纳结构抗反射疏水表面,使其红外透过率由原来的75%增加到92%,解决了表面淀积抗反射镀层膜层附着力、抗蚀性、热胀失配等问题. 此方法加工过程快速简单,可实现大面积制作,且微纳结构使基底具有疏水性能,疏水角可达145°. 使其在光电子、太阳能、航空航天及红外制导等领域具有广泛的应用前景.

English Abstract

参考文献 (28)

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