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采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法在反蛋白石结构薄膜中引入二维缺陷

李龙 王鸣 倪海彬 沈添怿

采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法在反蛋白石结构薄膜中引入二维缺陷

李龙, 王鸣, 倪海彬, 沈添怿
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-24
  • 修回日期:  2013-11-06
  • 刊出日期:  2014-03-05

采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法在反蛋白石结构薄膜中引入二维缺陷

  • 1. 南京师范大学物理科学与技术学院, 江苏省光电技术重点实验室, 南京 210023
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:61178044,91123015)、2012江苏省产学研前瞻性联合研究项目(批准号:BY2012005)和江苏省研究生创新计划(批准号:CXZZ12_0405)资助的课题.

摘要: 采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法,在光子晶体反蛋白石结构中引入缺陷,通过溶胶凝胶协同自组装方法在硅片上垂直沉积胶体晶体复合薄膜,把BP212正性光刻胶均匀旋涂在复合薄膜上,通过曝光、显影等光刻工艺,把掩膜版图案复制在复合薄膜上,用此样品再次垂直沉积一层复合薄膜,使图案被复合薄膜覆盖. 最后去除胶体微球与光刻胶图案,从而在反蛋白石结构中引入缺陷,用扫描电子显微镜对样品进行表征. 分析了光刻胶图案对胶体微球排列的影响.

English Abstract

参考文献 (12)

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