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飞秒激光改性6H-碳化硅晶体表面光电导增益现象研究

高仁喜 高胜英 范光华 刘杰 王强 赵海峰 曲士良

飞秒激光改性6H-碳化硅晶体表面光电导增益现象研究

高仁喜, 高胜英, 范光华, 刘杰, 王强, 赵海峰, 曲士良
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  • 半绝缘6H型碳化硅(6H-SiC)具有高电阻率性质,在可见光照射下进行光电导测量时,通常光生电流很小;然而经过飞秒激光辐照改性之后,发现在可见光波段的光电导有明显的增益. 本文利用紫外-可见-近红外吸收谱、X射线光电子能谱和发光光谱测量分析了激光改性之后碳化硅样品的光谱吸收、发射和晶体元素比例变化情况. 分析认为碳化硅光电导增益的原因是飞秒激光辐照过程改变了碳化硅表面的硅碳元素的原子浓度比,形成新的物质结构形式,从而导致了表面光电导性能的提高.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11274082)和哈尔滨工业大学科研创新基金(批准号:HIT.NSRIF.2011121)资助的课题.
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    Chichkov B N, Momma C, Nolte S 1996 Appl. Phys. A 63 109

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    Manato D, Takuto I, Minoru Y, Takuro T, Shigeki M, Shuichi H, Takahiro K, Toshiro I, Shinobu O, Takeshi O 2011 Appl. Phys. Lett. 98 133104

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    Strass A, Bieringer P, Hansch W, Fuenzalida V, Alvarez A, Luna J, Martil I, Martinez F L, Eisele I 1999 Thin Solid Films 349 135

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-21
  • 修回日期:  2013-12-11
  • 刊出日期:  2014-03-20

飞秒激光改性6H-碳化硅晶体表面光电导增益现象研究

  • 1. 哈尔滨工业大学 (威海) 理学院光电科学系, 威海 264209;
  • 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11274082)和哈尔滨工业大学科研创新基金(批准号:HIT.NSRIF.2011121)资助的课题.

摘要: 半绝缘6H型碳化硅(6H-SiC)具有高电阻率性质,在可见光照射下进行光电导测量时,通常光生电流很小;然而经过飞秒激光辐照改性之后,发现在可见光波段的光电导有明显的增益. 本文利用紫外-可见-近红外吸收谱、X射线光电子能谱和发光光谱测量分析了激光改性之后碳化硅样品的光谱吸收、发射和晶体元素比例变化情况. 分析认为碳化硅光电导增益的原因是飞秒激光辐照过程改变了碳化硅表面的硅碳元素的原子浓度比,形成新的物质结构形式,从而导致了表面光电导性能的提高.

English Abstract

参考文献 (15)

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