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负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚 王友年 邓新禄 马腾才

负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚, 王友年, 邓新禄, 马腾才
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-05-29
  • 刊出日期:  1996-07-20

负偏压射频放电过程的流体力学模拟

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116023
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题

摘要: 采用流体力学方法研究了负偏压射频放电的物理过程,计算了带电粒子密度及电场的时空分布,分析了在不同的近似条件下,离子动量平衡方程中各项的贡献。

English Abstract

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