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氧化铝基片上沉积金刚石薄膜的Raman光谱分析

莫要武 夏义本 黄晓琴 居建华 王鸿

氧化铝基片上沉积金刚石薄膜的Raman光谱分析

莫要武, 夏义本, 黄晓琴, 居建华, 王鸿
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-06-21
  • 刊出日期:  1997-03-20

氧化铝基片上沉积金刚石薄膜的Raman光谱分析

  • 1. 上海大学材料科学与工程学院
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 分别采用微波等离子体化学汽相沉积法和热丝化学汽相沉积法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜.通过谱线拟合,定量比较了不同沉积方法、不同基片上沉积金刚石薄膜的质量,计算了沉积膜的结构完整性及沉积层的应变,其结果与X射线衍射的结果符合良好

English Abstract

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