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空域移相偏振点衍射波前检测技术

郑东晖 李金鹏 陈磊 朱文华 韩志刚 乌兰图雅 郭仁慧

空域移相偏振点衍射波前检测技术

郑东晖, 李金鹏, 陈磊, 朱文华, 韩志刚, 乌兰图雅, 郭仁慧
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  • 点衍射干涉仪结构简单、共光路、测量精度高, 空域移相干涉仪抗振性能优越, 两者在波前检测领域获得了广泛的应用. 本文采用激光打孔技术, 通过在金属纳米线栅偏振片上制备小孔, 制作了偏振点衍射板; 结合分光结构的空域移相技术, 搭建了空域移相偏振点衍射干涉仪, 并对一焦距为550 mm, F#10的平行光管准直物镜透射波前进行测量, 与法国Phasics公司生产的商业化波前传感器SID4的测量结果相比较, 两者峰谷值相差0.09, 均方根值相差0.012 ; 利用35项Zernike多项式拟合两者的测量结果, 将拟合得到的系数在同一坐标轴下绘制成两条曲线, 两者基本重合, 从而验证了所搭建的空域移相偏振点衍射波前检测装置的测试精度. 从而在传统点衍射干涉仪的基础上引入了空域移相技术, 实现了波前的高分辨率、高精度、实时检测, 并且提高了对振动、气流等环境因素的抗干扰能力.
      通信作者: 陈磊, chenlei@njust.edu.cn
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: U1231111, 61108041, 61405092, 61505082, 11402120)和江苏省研究生科研创新计划(批准号: KYZZ15_0121)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-01-26
  • 修回日期:  2016-02-11
  • 刊出日期:  2016-06-05

空域移相偏振点衍射波前检测技术

  • 1. 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 南京 210094;
  • 2. 中国科学院南京天文仪器有限公司, 南京 210042;
  • 3. 南京理工大学协同创新中心, 南京 210094
  • 通信作者: 陈磊, chenlei@njust.edu.cn
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: U1231111, 61108041, 61405092, 61505082, 11402120)和江苏省研究生科研创新计划(批准号: KYZZ15_0121)资助的课题.

摘要: 点衍射干涉仪结构简单、共光路、测量精度高, 空域移相干涉仪抗振性能优越, 两者在波前检测领域获得了广泛的应用. 本文采用激光打孔技术, 通过在金属纳米线栅偏振片上制备小孔, 制作了偏振点衍射板; 结合分光结构的空域移相技术, 搭建了空域移相偏振点衍射干涉仪, 并对一焦距为550 mm, F#10的平行光管准直物镜透射波前进行测量, 与法国Phasics公司生产的商业化波前传感器SID4的测量结果相比较, 两者峰谷值相差0.09, 均方根值相差0.012 ; 利用35项Zernike多项式拟合两者的测量结果, 将拟合得到的系数在同一坐标轴下绘制成两条曲线, 两者基本重合, 从而验证了所搭建的空域移相偏振点衍射波前检测装置的测试精度. 从而在传统点衍射干涉仪的基础上引入了空域移相技术, 实现了波前的高分辨率、高精度、实时检测, 并且提高了对振动、气流等环境因素的抗干扰能力.

English Abstract

参考文献 (23)

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