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化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析

章应辉 王冠中 叶 峰 常 超 方容川

化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析

章应辉, 王冠中, 叶 峰, 常 超, 方容川
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-02-16
  • 刊出日期:  1999-06-05

化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析

  • 1. (1)中国科学技术大学化学物理系,合肥 230026; (2)中国科学技术大学结构分析开放实验室,合肥 230026;中国科学技术大学物理系,合肥 230026; (3)中国科学技术大学物理系,合肥 230026

摘要: 采用微区Raman散射分析方法研究化学气相沉积法制备的金刚石膜的横截面.金刚石膜从衬底面到生长面不同位置具有不同特征的Raman谱,依此对膜中的金刚石、石墨和非晶碳成分进行分析.衬底面附近区域对应金刚石膜生长过程的成核阶段,非晶碳成分含量较高,相应于1200—1600cm-1波段较大的散射强度和存在较强的荧光背底.膜厚增大,非晶碳成分中sp3结构成分首先减少,而sp2结构成分和石墨成分的减少相对缓慢.而生长面附近区域只有比较单纯的晶体金刚石

English Abstract

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