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飞秒激光烧蚀硅材料表面形成周期波纹形貌研究

李志明 王玺 聂劲松

飞秒激光烧蚀硅材料表面形成周期波纹形貌研究

李志明, 王玺, 聂劲松
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-12-14
  • 修回日期:  2017-03-14
  • 刊出日期:  2017-05-05

飞秒激光烧蚀硅材料表面形成周期波纹形貌研究

  • 1. 电子工程学院, 脉冲功率激光技术国家重点实验室, 合肥 230037
  • 通信作者: 聂劲松, njs7001@sina.com
    基金项目: 

    脉冲功率激光技术国家重点实验室基金(批准号:SKL2014ZR03)资助的课题.

摘要: 基于Sipe-Drude模型和表面等离子体激元(SPP)的干涉理论分别对单脉冲飞秒激光诱导硅表面形成低频率周期性波纹进行分析研究.探究了波长800 nm、脉宽150 fs的单个飞秒激光烧蚀硅造成不同激发水平下波纹形貌的变化,考虑到材料的光学性质变化(由Drude模型得到的介电常数变化),引入包含双温方程的电子数密度模型.计算结果表明,Sipe-Drude和SPP理论都适用于分析和解释高激发态下周期性波纹,但Sipe-Drude理论更适合分析更为广泛的周期性波纹结构.同时,波纹延伸方向总是垂直于入射激光偏振方向,其空间周期略小于激光波长,并受到入射激光通量的影响.在激光通量为0.38 J/cm2时,波纹周期达到最小值.另外,还得到了不同入射角度的波纹周期变化情况,并在不同偏振态下随入射角度增大时波纹周期呈现相反的变化趋势.该研究对于理解飞秒激光造成硅表面形成周期结构及其在加工硅材料领域具有重要参考意义.

English Abstract

参考文献 (14)

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