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基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究

李元杰 何小亮 孔艳 王绶玙 刘诚 朱健强

基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究

李元杰, 何小亮, 孔艳, 王绶玙, 刘诚, 朱健强
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  • 提出了基于Mllenstedt电子双棱镜的电压扫描剪切干涉全场ptychographic iterative engine (PIE)显微成像技术.从低到高逐步改变电子双棱镜的电压,并同时记录所形成的剪切干涉条纹,待测样品透射电子束的强度和相位分布就可以用PIE算法得以快速重建,而且双棱镜的方向、位置和实际电场强度分布等诸多实验中不可避免地偏差都可以在迭代过程中自动得以更正.所提技术能够克服现阶段用电子束进行PIE成像的诸多技术困扰,从而有望推动PIE技术在电子显微成像领域的发展和应用.
      通信作者: 刘诚, cheng.liu@hotmail.co.uk
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11647144)和江苏省自然科学基金(批准号:BK2012548)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-12-16
  • 修回日期:  2017-05-02
  • 刊出日期:  2017-07-05

基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究

  • 1. 江南大学理学院光电信息科学与工程系, 无锡 214122;
  • 2. 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
  • 通信作者: 刘诚, cheng.liu@hotmail.co.uk
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11647144)和江苏省自然科学基金(批准号:BK2012548)资助的课题.

摘要: 提出了基于Mllenstedt电子双棱镜的电压扫描剪切干涉全场ptychographic iterative engine (PIE)显微成像技术.从低到高逐步改变电子双棱镜的电压,并同时记录所形成的剪切干涉条纹,待测样品透射电子束的强度和相位分布就可以用PIE算法得以快速重建,而且双棱镜的方向、位置和实际电场强度分布等诸多实验中不可避免地偏差都可以在迭代过程中自动得以更正.所提技术能够克服现阶段用电子束进行PIE成像的诸多技术困扰,从而有望推动PIE技术在电子显微成像领域的发展和应用.

English Abstract

参考文献 (34)

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