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第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究

邹柳娟 夏 风 邹道文 翁惠民 黄千峰 周先意 韩荣典

第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究

邹柳娟, 夏 风, 邹道文, 翁惠民, 黄千峰, 周先意, 韩荣典
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-07-16
  • 修回日期:  2000-03-26
  • 刊出日期:  2000-07-20

第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究

  • 1. (1)华中理工大学物理系,武汉 430074; (2)江西师范大学物理系,南昌 330027; (3)中国科学技术大学现代物理系,合肥 230026

摘要: 用慢正电子技术研究了在溅射时不加偏压,衬底加热300℃,纯Ar气氛下制备的用Y2O3稳定的ZrO2薄膜材料(简称YSZ薄膜),发现了YSZ薄膜在不同 深度处的缺陷分布情况,退火温度对YSZ薄膜缺陷有影响.简要讨论了致密、优质YSZ薄膜的 制备方法.

English Abstract

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