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磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

刘洪祥 魏合林 刘祖黎 刘艳红 王均震

磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

刘洪祥, 魏合林, 刘祖黎, 刘艳红, 王均震
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-10-03
  • 修回日期:  2000-01-15
  • 刊出日期:  2000-09-20

磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

  • 1. 华中理工大学物理系,武汉 430074
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19775016)资助的课题.

摘要: 运用阻碍栅极型能量分析器,在不同磁镜场参数下测量了低温等离子体中离子的能量分布. 结果表明,在放电管中心处离子能量分布,随磁镜场强度的增加而向低能方向偏移,但离子能量分布宽度却没有明显的变化;而随着磁镜比的增加离子能量分布却向高能方向偏移,并且离子能量分布宽度也将变宽.由此可见,磁镜场参数对离子能量分布有很大影响.

English Abstract

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