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软X射线辐照引起的铟锡氧化物表面光化学反应

刘黎明 熊玉卿 郭 云 李冠斌 杨得全

软X射线辐照引起的铟锡氧化物表面光化学反应

刘黎明, 熊玉卿, 郭 云, 李冠斌, 杨得全
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-10-16
  • 修回日期:  2000-04-08
  • 刊出日期:  2000-09-20

软X射线辐照引起的铟锡氧化物表面光化学反应

  • 1. 中国空间技术研究院兰州物理研究所应用表面物理实验室,兰州 730000

摘要: 利用XPS原位研究了Mg Kα X射线辐照对ITO表面的影响.结果表明,随着X射线辐射时间的延 长,表面辐照区域In,Sn相对含量增加,而O则逐渐减少,同时,In,Sn3d光电子峰随X射线 辐射的增强而变化.分析说明X射线的辐照导致了ITO表面光化学反应,氧的脱离使In,Sn有 被还原的趋势,受损较重的In明显存在亚氧化态.In,Sn俄歇参数的变化进一步证实ITO表面 发生了光化学反应.并讨论了X射线引起ITO表面光化学反应的机制.

English Abstract

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