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溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应

徐润 沈明荣 葛水兵

溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应

徐润, 沈明荣, 葛水兵
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-20
  • 修回日期:  2001-11-03
  • 刊出日期:  2005-05-30

溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应

  • 1. 苏州大学物理系,苏州215006
    基金项目: 

    江苏省青年科技基金 (批准号 :BQ980 37)资助的课题~~

摘要: 采用溶胶凝胶法,在PtTiSiO2Si衬底上逐层制备了BaTiO3SrTiO3多层膜.从多层膜的XRD图可看出明显的双峰,分别对应为BaTiO3和SrTiO3的特征峰,表明样品已形成了多层膜结构.与同厚度的Ba05Sr05TiO3单层膜比较,BaTiO3SrTiO3多层膜的介电系数得到了明显的增强,在频率为10kHz时,周期为66nm的BaTiO3SrTiO3多层膜相对于同厚度的Ba05Sr05TiO3薄膜的介电系数从245增强到595,而损耗依然保持较低,分别为0029和0033.研究同时表明,BaTi

English Abstract

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