搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射

谭震宇 夏曰源

低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射

谭震宇, 夏曰源
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  3082
  • PDF下载量:  560
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2001-11-16
  • 修回日期:  2001-12-27
  • 刊出日期:  2005-05-30

低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射

  • 1. (1)山东大学电气工程学院,济南250061; (2)山东大学物理与微电子学院,济南250100

摘要: 应用MonteCarlo方法模拟千电子伏低能束作用下,不同衬底上不同薄膜背散射电子发射.应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射,引入边界方程,修正穿越薄膜与衬底界面的电子散射路径.计算分析了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D的变化和规律,以及不同情况下ηD线性区范围的分布及其定量结果Dmax.计算了背散射电子角分布和空间密度分布.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回