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脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

钟志成 张端明 关 丽 李智华 侯思普 杨凤霞 郑克玉

脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

钟志成, 张端明, 关 丽, 李智华, 侯思普, 杨凤霞, 郑克玉
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-03-25
  • 修回日期:  2002-04-25
  • 刊出日期:  2005-04-03

脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

  • 1. (1)湖北襄樊学院物理系,襄樊 441053; (2)华中科技大学[主校区]物理系,武汉 430074;华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉 430074
    基金项目: 

    华中科技大学激光技术国家重点实验室基金(批准号:9713D)、湖北省自然科学基金(批准号:2001ABB099)、湖北省教育厅重大科技项目基金(批准号:2000B5002)和国家自然科学基金(批准号:50272022)资助的课题.

摘要: 利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa065Nb035O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论,给出了相应演化过程的物理图像,并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因.

English Abstract

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