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溶胶-凝胶法制备纳米多孔SiO2薄膜

何志巍 甄聪棉 兰 伟 王印月

溶胶-凝胶法制备纳米多孔SiO2薄膜

何志巍, 甄聪棉, 兰 伟, 王印月
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-01-17
  • 修回日期:  2003-03-29
  • 刊出日期:  2003-06-05

溶胶-凝胶法制备纳米多孔SiO2薄膜

  • 1. 兰州大学物理系,兰州 730000
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.

摘要: 以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用旋转涂敷的方法,结合溶胶-凝胶技术在硅衬底上制备超低介电常数多孔SiO2薄膜.采用两种不同的改性方法对薄膜表面进行改性,傅里 叶变换红外光谱分析发现改性后薄膜中含有大量的—CH3键,从而减少了孔洞塌陷.用扫 描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,发现薄膜内孔洞尺寸在70—80 nm之间.调节溶胶pH值,发现pH值越小凝胶时间越长.对改性样品热处理的结果表明,在300 ℃时介电常数最低达2.05.

English Abstract

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