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La掺杂浓度对PLZT薄膜红外光学性质的影响

胡志高 石富文 黄志明 王根水 孟祥建 林 铁 褚君浩

La掺杂浓度对PLZT薄膜红外光学性质的影响

胡志高, 石富文, 黄志明, 王根水, 孟祥建, 林 铁, 褚君浩
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-09-25
  • 修回日期:  2002-11-18
  • 刊出日期:  2003-07-20

La掺杂浓度对PLZT薄膜红外光学性质的影响

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
    基金项目: 

    国家重点基础研究专项基金(批准号:G001CB3095)资助的课题-

摘要: 采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同La掺杂浓度PLZT(x/40/60)薄膜- x射线衍射分析表明制备的PLZT(x/40/60)薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜- 通过红外椭圆偏振光谱仪测量了波长为2-5—12-6μm范围内PLZT薄膜的椭偏光谱,采用经典色 散模型拟合获得PLZT薄膜的红外光学常数,同时也拟合获得PLZT薄膜的厚度- 随着La掺杂浓 度的增大,折射率逐渐减小- 而消光系数除PLZT(4/40/60)薄膜外,呈现逐渐增大的趋势- 分析表明这些差异主要与PLZ

English Abstract

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