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GaN1-xPx薄膜的结构特性研究

陈敦军 沈 波 张开骁 邓咏桢 范 杰 张 荣 施 毅 郑有炓

GaN1-xPx薄膜的结构特性研究

陈敦军, 沈 波, 张开骁, 邓咏桢, 范 杰, 张 荣, 施 毅, 郑有炓
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-07-14
  • 修回日期:  2002-12-09
  • 刊出日期:  2003-07-20

GaN1-xPx薄膜的结构特性研究

  • 1. 南京大学物理系,南京 210093
    基金项目: 

    国家重点基础研究专项基金(批准号:G20000683)、国家自然科学基金(批准号:601 36020)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA305304)资助的课题.

摘要: 用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上外延了高P组分的GaN1-xP x 薄膜.利用x射线衍射仪和拉曼光谱仪研究了P对GaN1-xPx晶体结构 的影响.研究结果表明:随着P组分比的增加,GaN1-xPx(0002)衍射 峰逐渐向小角度移动,即晶格常数变大;与非掺杂GaN相比,GaN1-xPx薄 膜的拉曼光谱中出现了4个新的振动模

English Abstract

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