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栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

叶 超 杜 伟 宁兆元 程珊华

栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

叶 超, 杜 伟, 宁兆元, 程珊华
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  • 研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统中栅网的增加和栅网上施加+60V和-60V偏压对CHF3放电等离子体特性的影响.发现在低微波功率下栅网与偏压对等离子 体中基团分布的影响较大,而高微波功率下的影响逐渐减小.这是由于低微波功率下等离子体中电子温度较低,基团的分布同时受栅网鞘电场和电子碰撞分解的共同作用;而高微波功率下电子温度较高,栅网鞘电场的作用减弱,基团分布主要取决于电子碰撞分解作用.
    • 基金项目: 江苏省高校省级重点实验室开放课题(批准号:KJS01012)和国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-09-16
  • 修回日期:  2002-11-08
  • 刊出日期:  2003-07-20

栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

  • 1. 苏州大学物理系,苏州 215006
    基金项目: 

    江苏省高校省级重点实验室开放课题(批准号:KJS01012)和国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题.

摘要: 研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统中栅网的增加和栅网上施加+60V和-60V偏压对CHF3放电等离子体特性的影响.发现在低微波功率下栅网与偏压对等离子 体中基团分布的影响较大,而高微波功率下的影响逐渐减小.这是由于低微波功率下等离子体中电子温度较低,基团的分布同时受栅网鞘电场和电子碰撞分解的共同作用;而高微波功率下电子温度较高,栅网鞘电场的作用减弱,基团分布主要取决于电子碰撞分解作用.

English Abstract

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