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用掩蔽注入法研究钛注入H13钢的耐磨性

张通和 杨建华

用掩蔽注入法研究钛注入H13钢的耐磨性

张通和, 杨建华
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-07-24
  • 修回日期:  2004-03-05
  • 刊出日期:  2004-11-16

用掩蔽注入法研究钛注入H13钢的耐磨性

  • 1. (1)北京师范大学射线束和材料工程教育部重点实验室,北京 100875; (2)南通工学院物理部,南通 226007;北京师范大学射线束和材料工程教育部重点实验室,北京 100875
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:59671051)、江苏省教育厅自然科学基金(批准号:02KJD490 001)及南通工学院基金(批准号:200347)资助的课题.

摘要: 采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究.钛和碳离子注入剂量分别为3×1017和1×1017cm-2,引出电压分别为48和30kV,平均束流密度分别为47和20μA·cm-2.为了保持相同的摩擦磨损实验条件,注 入过程中采用掩蔽注入技术.摩擦磨损实验结果表明,钛离子注入H13钢提高了其耐磨性,并大幅度降低其摩擦系数.利用卢瑟福背散射谱测量了离子注入表面的成分,并采用逐层递推 法得出了钛在H13钢中的浓度深度分布,借助掠面x射线衍射考察了注入表面的相结构.

English Abstract

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