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不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

张连生 王景贺 朱嘉琦 孟松鹤 韩杰才

不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

张连生, 王景贺, 朱嘉琦, 孟松鹤, 韩杰才
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-15
  • 修回日期:  2003-06-29
  • 刊出日期:  2004-04-15

不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

  • 1. (1)承德石油高等专科学校,承德 067000; (2)哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001; (3)哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室,哈尔滨 150001
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA305507)和国家“十五”科技预研项目(批准号:41312040401)资助的课题.

摘要: 采用过滤阴极真空电弧技术,通过施加0—2000 V衬底负偏压使沉积离子获得不同能级的入射能量,在单晶硅上制备了四面体非晶碳薄膜.拉曼光谱分析表明,薄膜的结构为非晶sp3骨架中镶嵌着平面关联长度小于1 nm的sp2团簇.原子力显微镜研究表明:在低能级、富sp3能量窗口和次高能级,薄膜中sp3的含量越多,其表面就越光滑,应用sp3浅注入生长机制能够圆满地解释薄膜表面形态与离子入射能量之间的关系;但在高

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